美国再禁DUV（深紫外光刻机）设备？三星、SK海力士忧中国厂遭波及(转载)

在特朗普政府时，美国便已要求荷兰禁止向中国出口EUV（极紫外光刻机）设备，而美国国家安全委员会（NSCAI）上月建议也该禁向中国出口DUV（深紫外光刻机）光刻机等的半导体制造设备，并已获得拜登政府初步认可，目前中芯国际由于无法购买顶尖EUV光刻机设备，所以只能够购买DUV光刻机设备，在此前ASML可从荷兰直接向中国出口DUV光刻机，且不受美国的限制。而一旦禁令下达将会对半导体产业产生深刻影响，对此三星电子、SK海力士等韩国大厂现在已表达担忧。

韩媒《BusinessKorea》报导，一旦限制实施，三星电子、SK海力士在中国的芯片工厂可能会受到影响。目前，三星电子在中国西安有2家工厂生产第6代3D V-NAND产品；SK海力士在中国无锡亦有2家工厂生产10奈米DRAM。这4家工厂使用的便是DUV光刻机，今年还将引进其他设备。

但若美国计划收紧限制，三星、SK海力士追加投资的计划将更不明朗，SK海力士子公司「SK海力士系统IC」最近与无锡工业发展集团合作，在中国启动代工业务，但其工艺开发可能亦会受到美国限制。